某半导体材料研制品牌因晶圆进行维护清洁多种工序导致含氨废渣,供水量200吨/天。废渣中除化学需氧量外还具有刺激性氟化物和少量巨资属,处置关卡大。场地排卸标准要求标准要求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水基本成分及起源
晶圆洗掉废水处理工艺(最主要因素):含化学需氧量200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀多种工序废水处理工艺:含微量分析铜、镍等高价属,pH值下降大
CMP机磨化工废水:含硅顆粒及化学需氧量
加工处理工艺设计流程图
主要包括"生物学乳浊液+膜剥离 +折点氯化"搭配组合制作工艺:
预解决
:污泥脱水CaCl2除氟,有效控制pH在7.5-8.
反渗透装置体统
:出掉0.01μm及以上粒子物
反渗透装置性和精炼
:将高锰酸盐指数果汁至1000mg/L上
折点氯化
:高精度调节氯污泥脱水量,将高锰酸盐指数还原成为氢气
亚铁离子变换
:得到保障血本属标准
决定视觉效果
氧化还原电位固定<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含量的小于在线检测限
水造纸废水处理率达75%
飞灰所产生量缩短40%